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yi zhong xin xing bao mo zhi bei gong yi yuan zi ceng wai yan
Author(s): 
Pages: 13-17+12
Year: Issue:  4
Journal: Optoelectronic Technology

Keyword:  原子层外延薄膜制备反应蒸发电子束蒸发液相外延激光蒸发分子束外延汽相外延化学汽相淀积光电子学;
Abstract: <正> 引言在近代光电子学研究与生产中,需要制备各种非晶或单晶薄膜,通常使用的工艺方法有蒸发(电阻蒸发,电子束蒸发,激光蒸发,反应蒸发,以及离子镀)、溅射(阴极溅射,射频溅射,等离子体溅射)、化学汽相淀积、外延(汽相外延,液相外延,分子束外延)等等。现在这一工艺家族中又出生了一个新的成员一原子层外延(ALE—Atomic Layer Epitaxy)。
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