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dian zi guang xue xin jin zhan
Author(s): 
Pages: 84-86
Year: Issue:  1
Journal: Optoelectronic Technology

Keyword:  透镜象差光学理论抗蚀剂学术交流离子束刻蚀浸没物镜偏转器双棱镜离轴优化设计;
Abstract: <正> 1986年国际电子光学讨论会(ZSEOB′86)于1986年9月在北京召开,这是中外学者对电子(离子)光学进行学术交流的一次盛会,会上共宣读了论文近百篇.论文内容涉及电子光学理论和实验研究;电子光学系统的CAD和优化设计;电子光学的应用等方面众多专题.下面着重介绍会议的部份论文.
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